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如何实现光学平台的隔振?

发布时间:2021-07-14      点击次数:1143
光学平台广泛应用于光学、电子、精密机械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和无损检测等领域,以及其他机械行业的精密试验仪器、设备振动隔离的关键装置中,其动态力学特性的好坏直接影响试验结果的性和可靠性。仪器设备的微振动直接影响精密仪器设备的测量精度。随着精密隔振要求的提升,需要不断提高光学平台的振动隔离技术。

隔振系统设计需要考虑的环境微振动干扰是复杂的,包括:大型建筑物本身的摆动、地面或楼层间传来的振动、电动仪器和设备的振动、各类机械振动、声音引起的振动、外界街道交通引起的振动,甚至包括人员走动所引起的振动等。

光学平台的选择对于提升实验精度,起着至关重要的作用。总体上说,光学平台的隔振,通过三个方面来实现:

• 隔振支架:通常来说,气浮式隔振支架性能优于阻尼式隔振支架,部分性能的隔振支架可以将外界振动(常见10~200Hz)减少一至两个数量级

• 台面物理性能:要求台面有一定的刚性而且较轻(硬重比),这样的台面可以有效减少共振时的振幅,这一点在后面阐述

• 台面内部结构:台面的内部结构,除了负责减轻支架未能消除的外界振动外对于降低或消除因台面上的冲击和相对运动引起的振动,起到至关重要的作用

的光学平台不仅需要高精度的机器设备来加工,更需要有高科技精度的检测手段与检测仪器来,也只有的光学平台才能高精度的科学实验、科学研究的正常进行。

STACIS III是一种灵活的主动隔振系统。STACIS采用的惯性振动传感器、控制算法和压电致动器,通过连续测量地面活动,然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动,以实时消除振动。STACIS III包括一个的改进型数字控制器DC-2020。这款的控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口,为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面(GUI)。被设计用于隔离半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备,现已成为嘈杂环境(包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心)中敏感仪器的行业标准解决方案。
 
 
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